無塵車間即凈化車間,亦稱為無塵室或潔凈室。是指將定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某需求范圍內,而所給予特別設計之房間。無塵車間并不是等越越好,相反,等數字越小,凈化要求越高。 無塵車間可以分為以下幾個別:
1 這個別的無塵車主要用于制造集成電路的微電子工 業,對集成電路的精確要求為亞微米。
10 這個別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。
100 很多人認為,這無塵車間是常用因而是重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。
1000 這個別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
10000 萬無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬無塵車間在醫工業中也很常用。
100000 十萬無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這無塵車間。
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